Hochschulschrift

Vollständig ionenimplantierter InP - JFET : Prozessentwicklung und Schichtoptimierung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783861111641
3861111640
Maße
21 cm
Umfang
127 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992

Schlagwort
Indiumphosphid
Halbleitersubstrat
Sperrschicht-FET
Ionenimplantation

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1992
Urheber
Güldner, Wolfgang

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:21 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Güldner, Wolfgang
  • Shaker

Entstanden

  • 1992

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