Monografie
Vollständig ionenimplantierter InP - JFET : Prozessentwicklung und Schichtoptimierung
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
127 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992
- ISBN
-
978-3-86111-164-1
- Identifier
-
921006195
- Reihe
-
Reihe Elektrotechnik
Thema
Indiumphosphid ; Halbleitersubstrat ; Sperrschicht-FET ; Ionenimplantation ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
Güldner, Wolfgang
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:48 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Güldner, Wolfgang
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