Hochschulschrift
Induktive Mikrosysteme : Technologieentwicklung und Anwendung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832220433
3832220437
- Maße
-
21 cm, 219 gr.
- Umfang
-
146 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2003
- Erschienen in
-
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 9
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Spulensystem
Mikrosystemtechnik
Galvanische Abscheidung
Fotolithografie
Mikroaktor
Mikrosensor
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
2003
- Urheber
-
Seidemann, Volker
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:46 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Seidemann, Volker
- Shaker
Entstanden
- 2003
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