Hochschulschrift
Herstellung und Charakterisierung von dünnen Silizium-Siliziumoxid-Schichtsystemen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783932749490
3932749499
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
III, 156 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: München, Univ., Diss., 2002
- Bibliographic citation
-
Selected topics of semiconductor physics and technology ; Vol. 49
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
München
- (who)
-
Walter-Schottky-Inst.
- (when)
-
2002
- Creator
-
Sticht, Andreas
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:00 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Sticht, Andreas
- Walter-Schottky-Inst.
Time of origin
- 2002
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