Hochschulschrift
Agent based diagnostic system for the defect analysis during chemical mechanical polishing (CMP)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783936947649
3936947643
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2005
- Erschienen in
-
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Nr. 421
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Wafer
Chemisches Polieren
Prozessüberwachung
Defekt
Diagnosesystem
Mehragentensystem
Mehragentensystem ; Diagnosesystem ; Chemisches Polieren ; Polieren ; Defekt ; Technischer Fehler ; Agent ,Agent
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Heimsheim
- (wer)
-
Jost-Jetter
- (wann)
-
2005
- Urheber
-
Kumar, Akhauri Prakash
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-23777
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:19 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kumar, Akhauri Prakash
- Universität Stuttgart. Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb
- Jost-Jetter
Entstanden
- 2005
Ähnliche Objekte (12)
![Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]](/assets/placeholder/searchResultMediaNoDigitisedMedia.png)
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 2.. Dieses Buch beinhaltet Sagen aus dem gesamten Schwarzwald, die meisten davon aus dem nördlichen Teil / [Ill.: Stefan Ölschläger "Steve". Text: Carola Sickinger]
Laserunterstützte Synthese von einwandigen Kohlenstoffnanoröhren (SWCTs) [(SWCNTs)] und Applikation von Polycarbonaten
Eine Methode zur Einführung von Vertriebsunterstützungssystemen in der Investitionsgüterindustrie
Ein regelbasierter Beobachter zur prozessorientierten Integration betrieblicher Informationssysteme
Ein Planungsverfahren zur Konfiguration der Produktionslogistik
Prozessgeregeltes Mikrodosieren hochviskoser Klebstoffe
Laufzeit-Modellierung objektorientierter interaktiver Prozesse in der Produktion
Auftragskoordination in Produktionsnetzen der Halbleiterindustrie
Referenzmodell zur Automatisierung zwischenbetrieblicher Beschaffungsprozesse
Höhlen als frühe Observatorien : die Entschlüsselung des Labyrinths?
Aufbau von produktionsnahen Teaminformationsportalen bei kundenindividueller Produktion mittels Entwurfmustersprachen
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 2.. Dieses Buch beinhaltet Sagen aus dem gesamten Schwarzwald, die meisten davon aus dem nördlichen Teil / [Ill.: Stefan Ölschläger "Steve". Text: Carola Sickinger]
Laserunterstützte Synthese von einwandigen Kohlenstoffnanoröhren (SWCTs) [(SWCNTs)] und Applikation von Polycarbonaten
Eine Methode zur Einführung von Vertriebsunterstützungssystemen in der Investitionsgüterindustrie
Ein regelbasierter Beobachter zur prozessorientierten Integration betrieblicher Informationssysteme
Ein Planungsverfahren zur Konfiguration der Produktionslogistik
Prozessgeregeltes Mikrodosieren hochviskoser Klebstoffe
Laufzeit-Modellierung objektorientierter interaktiver Prozesse in der Produktion
Auftragskoordination in Produktionsnetzen der Halbleiterindustrie
Referenzmodell zur Automatisierung zwischenbetrieblicher Beschaffungsprozesse
Höhlen als frühe Observatorien : die Entschlüsselung des Labyrinths?
Aufbau von produktionsnahen Teaminformationsportalen bei kundenindividueller Produktion mittels Entwurfmustersprachen
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 2.. Dieses Buch beinhaltet Sagen aus dem gesamten Schwarzwald, die meisten davon aus dem nördlichen Teil / [Ill.: Stefan Ölschläger "Steve". Text: Carola Sickinger]
Laserunterstützte Synthese von einwandigen Kohlenstoffnanoröhren (SWCTs) [(SWCNTs)] und Applikation von Polycarbonaten
Eine Methode zur Einführung von Vertriebsunterstützungssystemen in der Investitionsgüterindustrie
Ein regelbasierter Beobachter zur prozessorientierten Integration betrieblicher Informationssysteme
Ein Planungsverfahren zur Konfiguration der Produktionslogistik
Prozessgeregeltes Mikrodosieren hochviskoser Klebstoffe
Laufzeit-Modellierung objektorientierter interaktiver Prozesse in der Produktion
Auftragskoordination in Produktionsnetzen der Halbleiterindustrie
Referenzmodell zur Automatisierung zwischenbetrieblicher Beschaffungsprozesse
Höhlen als frühe Observatorien : die Entschlüsselung des Labyrinths?