Fluorbasiertes Trockenätzen von Mikrostrukturen in Glas und Glaskeramik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2019

Classification
Technische Chemie
Keyword
Glaskeramik
Glas
Ätzen
Zerodur
Trockenätzen

Event
Veröffentlichung
(where)
Ilmenau
(who)
TU Ilmenau
(when)
2019
Creator
Contributor

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2019000280
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:25 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2019

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