A comparison of ns and ps steam laser cleaning of Si surfaces

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Applied Physics / A, Materials Science and Processing ; 69 (1999), Supplement 1. - S. S331-S334

Classification
Physik

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
Bibliothek der Universität Konstanz
(when)
2007
Contributor
Mosbacher, Mario
Chaoui, Nouari
Siegel, Jan Philip
Dobler, Volker
Solis Cespedes, Francisco Javier
Boneberg, Johannes
Afonso Rodriguez, Carmen Nieves
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-28747
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:49 AM CEST

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  • Chaoui, Nouari
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  • Afonso Rodriguez, Carmen Nieves
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Time of origin

  • 2007

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