Hochschulschrift
Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensorsystemen unter Verwendung der Oberflächenmikromechanik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183348091
3183348098
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 122 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Gesamthochsch., Diss., 2001
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 348, Reihe 9
- Schlagwort
-
Taktiler Sensor
Siliciumsensor
Wafer
CMOS-Schaltung
Mikromechanik
Oberflächenmontage
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:02 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Leineweber, Michael
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2002
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