Hochschulschrift | Online-Publikation
Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003
- Classification
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Keyword
-
Aluminiumoxidkeramik
PECVD-Verfahren
Metallischer Werkstoff
Beschichten
Aluminiumoxidkeramik
Dünne Schicht
Stoffeigenschaft
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-9288urn:nbn:de:hbz:82-20041911
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:53 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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