Hochschulschrift

Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183349098
3183349094
Maße
21 cm
Umfang
IX, 112 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 349, Reihe 9

Schlagwort
Drucksensor
Hochtemperaturverhalten
CMOS-Schaltung
SIMOX
Mikromechanik
Verbindungstechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
2002
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:38 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2002

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