Hochschulschrift
Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183349098
3183349094
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 112 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 349, Reihe 9
- Keyword
-
Drucksensor
Hochtemperaturverhalten
CMOS-Schaltung
SIMOX
Mikromechanik
Verbindungstechnik
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:38 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kasten, Klaus
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2002
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