Hochschulschrift
Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783863602000
- Dimensions
-
21 cm, 250 g
- Extent
-
203 Seiten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
- Classification
-
Technische Chemie
- Keyword
-
Hohlkathode
Beschichten
Plasmaabscheidung
Strömungsmechanik
Justieren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
Universitätsverlag Ilmenau
- (when)
-
2019
- Creator
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:48 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Benkenstein, Andreas
- Ilmenau Media Services
- Universitätsverlag Ilmenau
Time of origin
- 2019
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