Hochschulschrift

Physikalisch-elektronische Eigenschaften ammoniaknitridierter RTP-SiOxNy-Schichten

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
21 cm
Umfang
119 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1995

Schlagwort
MIS
Kondensator
Siliciumoxinitride
Dünne Schicht

Urheber
Prösch, Georg

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:03 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Prösch, Georg

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