Monografie
Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
- Language
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Deutsch
- Identifier
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1184493448
- Series
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Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik; 11
- DOI
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10.5445/KSP/1000027008
- URN
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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26.01.2023, 1:55 PM CET