Hochschulschrift

Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Zonenschmelzrekristallisation dicker und dünner polykristalliner Siliciumschichten auf amorphen isolierenden Substraten

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783893494590
3893494596
Dimensions
22 cm
Extent
IX, 114 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1992

Bibliographic citation
Deutsche Hochschulschriften ; 459

Keyword
SOI-Technik
Zonenschmelzverfahren

Event
Veröffentlichung
(where)
Egelsbach, Köln, New York
(who)
Hänsel-Hohenhausen
(when)
1993
Creator
Richter, Harald

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Last update
11.06.2025, 1:47 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Richter, Harald
  • Hänsel-Hohenhausen

Time of origin

  • 1993

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