- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Dissertation, 2024
- Keyword
-
Atomlagenabscheidung
Mehrschichtsystem
Dünne Schicht
Nanostrukturiertes Material
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden
- (who)
-
Technische Universität Dresden
- (when)
-
2024
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-943801
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:23 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Associated
- Yang, Jun
- Nielsch, Kornelius
- Schierning, Gabi
- Technische Universität Dresden
Time of origin
- 2024
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