Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren : Verbundprojekt 1989 - 1992 ; Abschlussbericht

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
224 S. in getr. Zählung
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Bibliographic citation
Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; Bd. 7

Event
Veröffentlichung
(where)
Teltow
(who)
VDI-VDE-Technologiezentrum Innovationstechnik
(when)
1994
Contributor

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Last update
11.03.2025, 12:16 PM CET

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Time of origin

  • 1994

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