Hochschulschrift

Zur Strahlenchemie polymerer Röntgenresists

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
84 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Bonn, Univ., Diss., 1995 (Nicht für den Austausch)

Schlagwort
Röntgenlithografie
Photoresist
Polymethylmethacrylate
Strahlenchemie

Urheber
Wollersheim, Olaf

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Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:02 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Wollersheim, Olaf

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