Lehrbuch
MEMS in der Mikrosystemtechnik : Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783519005209
3519005204
- Dimensions
-
24 cm
- Extent
-
212 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Literaturverz. S. 201 - 205
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
MEMS
Sensorsystem
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:11 PM CET
Data provider
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Object type
- Lehrbuch
Associated
- Glück, Markus
- Teubner
Time of origin
- 2005
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