Hochschulschrift
Integrierte Prozess- und Parametersimulation zur Modellierung von Halbleiterbauelementen für die Grossintegration
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181475096
3181475092
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
213 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
85 graph. Darst.
Als Ms. gedr.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1987
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 75, Reihe 9
- Schlagwort
-
Halbleitertechnologie
Prozesssimulation
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1988
- Urheber
-
Stein, Erhard
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:18 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Stein, Erhard
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1988
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