Hochschulschrift
Reaktives Sputtern von Oxidfilmen : Herstellung dielektrischer dünner Schichten für technische Anwendungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783860730898
3860730894
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
130 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992
- Erschienen in
-
Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie ; Bd. 5
- Schlagwort
-
Metalloxide
Dielektrische Schicht
Magnetronsputtern
Hysterese
Mathematisches Modell
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Verl. der Augustinus-Buchh.
- (wann)
-
1993
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:33 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Stollenwerk, Johannes
- Verl. der Augustinus-Buchh.
Entstanden
- 1993
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