Hochschulschrift
Reaktives Sputtern von Oxidfilmen : Herstellung dielektrischer dünner Schichten für technische Anwendungen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783860730898
3860730894
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
130 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992
- Bibliographic citation
-
Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie ; Bd. 5
- Keyword
-
Metalloxide
Dielektrische Schicht
Magnetronsputtern
Hysterese
Mathematisches Modell
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Verl. der Augustinus-Buchh.
- (when)
-
1993
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:33 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Stollenwerk, Johannes
- Verl. der Augustinus-Buchh.
Time of origin
- 1993
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