Improved remnant polarization of Zr-doped HfO2 ferroelectric film by CF4/O2 plasma passivation
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
-
2045-2322
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
online resource.
- Erschienen in
-
Improved remnant polarization of Zr-doped HfO2 ferroelectric film by CF4/O2 plasma passivation ; volume:12 ; number:1 ; day:6 ; month:10 ; year:2022 ; pages:1-7 ; date:12.2022
Scientific reports ; 12, Heft 1 (6.10.2022), 1-7, 12.2022
- Urheber
-
Choi, Yejoo
Park, Hyeonjung
Han, Changwoo
Min, Jinhong
Shin, Changhwan
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
SpringerLink (Online service)
- DOI
-
10.1038/s41598-022-21263-8
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022122509254732858791
- Rechteinformation
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:32 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Choi, Yejoo
- Park, Hyeonjung
- Han, Changwoo
- Min, Jinhong
- Shin, Changhwan
- SpringerLink (Online service)
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