Improved remnant polarization of Zr-doped HfO2 ferroelectric film by CF4/O2 plasma passivation
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
-
2045-2322
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
online resource.
- Bibliographic citation
-
Improved remnant polarization of Zr-doped HfO2 ferroelectric film by CF4/O2 plasma passivation ; volume:12 ; number:1 ; day:6 ; month:10 ; year:2022 ; pages:1-7 ; date:12.2022
Scientific reports ; 12, Heft 1 (6.10.2022), 1-7, 12.2022
- Creator
-
Choi, Yejoo
Park, Hyeonjung
Han, Changwoo
Min, Jinhong
Shin, Changhwan
- Contributor
-
SpringerLink (Online service)
- DOI
-
10.1038/s41598-022-21263-8
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022122509254732858791
- Rights
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:32 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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