Hochschulschrift
Untersuchungen der Pyrolyse von Silan zur Herstellung von polykristallinem Silizium in einem Wirbelbettreaktor
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898254182
3898254186
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
X, 159 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst., Ill.
Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2002
- Schlagwort
-
Silan
Pyrolyse
Silicium
Polykristall
Reinststoff
Herstellung
Silan
Pyrolyse
CVD-Verfahren
Wirbelschichtreaktor
Reaktionstechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
dissertation.de
- (wann)
-
2002
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
2025-06-11T14:21:16+0200
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Tejero-Ezpeleta, Maria-Pilar
- dissertation.de
Entstanden
- 2002
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