Monografie

Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

Language
Deutsch
Notes
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
Identifier
974008524

Subject
Siliciumdioxid ; Kristallwachstum ; Fotochemische Reaktion ; Ellipsometrie ; FT-IR-Spektroskopie ; FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser; Hochschulschrift; Online-Publikation

Contributor
Patzner, Patrik

URN
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
26.01.2023, 1:57 PM CET

Object type


  • Monografie

Associated


  • Patzner, Patrik

Other Objects (12)