Hochschulschrift | Online-Publikation
Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
- Classification
-
Chemie
- Keyword
-
Siliciumdioxid
Kristallwachstum
Fotochemische Reaktion
Ellipsometrie
FT-IR-Spektroskopie
FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser
- Creator
-
Patzner, Patrik
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:16-opus-52655
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:42 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Associated
- Patzner, Patrik
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