Monografie
Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
- Identifier
-
974008524
Subject
Siliciumdioxid ; Kristallwachstum ; Fotochemische Reaktion ; Ellipsometrie ; FT-IR-Spektroskopie ; FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser; Hochschulschrift; Online-Publikation
Contributor
Patzner, Patrik
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:57 PM CET
Object type
- Monografie
Associated
- Patzner, Patrik
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