Monografie

Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe

Language
Deutsch
Notes
Saarbrücken, Univ., Diss., 2007
Identifier
985390689

Subject
PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Beschichten ; Titandioxid; Hochschulschrift

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Last update
26.01.2023, 1:55 PM CET

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