How to solve problems in micro- and nanofabrication caused by the emission of electrons and charged metal atoms during e-beam evaporation
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Erschienen in
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In: 10.1088/1361-6463/abe89b
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Aachen
- (wer)
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Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (wann)
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2021
- Urheber
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Volmer, Frank
Seidler, Inga
Bißwanger, Timo Hendrik
Tu, Jhih-Sian
Schreiber, Lars Reiner
Stampfer, Christoph
Beschoten, Bernd
- DOI
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10.18154/RWTH-2021-03924
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2021042303250470682086
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 14.08.2025, 10:45 MESZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Volmer, Frank
- Seidler, Inga
- Bißwanger, Timo Hendrik
- Tu, Jhih-Sian
- Schreiber, Lars Reiner
- Stampfer, Christoph
- Beschoten, Bernd
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Entstanden
- 2021