How to solve problems in micro- and nanofabrication caused by the emission of electrons and charged metal atoms during e-beam evaporation

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: 10.1088/1361-6463/abe89b

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2021
Urheber
Volmer, Frank
Seidler, Inga
Bißwanger, Timo Hendrik
Tu, Jhih-Sian
Schreiber, Lars Reiner
Stampfer, Christoph
Beschoten, Bernd

DOI
10.18154/RWTH-2021-03924
URN
urn:nbn:de:101:1-2021042303250470682086
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:45 MESZ

Datenpartner

Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.

Beteiligte

Entstanden

  • 2021

Ähnliche Objekte (12)