Hochschulschrift
Entwicklung und Charakterisierung elektrostatisch auslenkbarer Torsionsspiegel aus Polysilizium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
101 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Stuttgart, Univ., Diss., 1997
- Keyword
-
Mikroaktor
Spiegel
Elektrostatisches Feld
Ansteuerung
CMOS
Aktor
Spiegel
Mikromechanik
Silicium
Polykristall
CMOS
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:53 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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