Hochschulschrift
Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb
- Weitere Titel
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Modelling and design of resonant microactuators with electrostatic drive
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2016
- Klassifikation
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
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Antrieb
MEMS
Bauelement
ANSYS
Schubmodul
Fertigungstoleranz
Drehmoment
Hardwarebeschreibungssprache
SOI-Technik
Werkzeug
Normalspannung
Reynolds-Zahl
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Dresden, Dresden
- (wer)
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Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
- (wann)
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2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
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urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-200907
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Klose, Thomas
- Fischer, Wolf-Joachim
- Gerlach, Gerald
- Schwarz, Peter
- Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2016