Hochschulschrift
Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb
- Weitere Titel
-
Modelling and design of resonant microactuators with electrostatic drive
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2016
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Antrieb
MEMS
Bauelement
ANSYS
Schubmodul
Fertigungstoleranz
Drehmoment
Hardwarebeschreibungssprache
SOI-Technik
Werkzeug
Normalspannung
Reynolds-Zahl
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
- (wann)
-
2016
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Technische Universität Dresden
- (wann)
-
2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-200907
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:44 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Klose, Thomas
- Fischer, Wolf-Joachim
- Gerlach, Gerald
- Schwarz, Peter
- Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
- Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2016
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