Hochschulschrift
Entwicklung eines hochpräzisen Justagesystems für die UV-Nanoimprint-Lithographie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832254377
3832254374
- Dimensions
-
21 cm, 221 gr.
- Extent
-
III, 138 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Wafer
Nanoprägen
Photoresist
Ultraviolett
Halbleitersubstrat
Automatisches Justieren
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:20 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Fuchs, Andreas
- Shaker
Time of origin
- 2006
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