Hochschulschrift

Neue Konzepte bei integrierten Drucksensoren auf III-V-Halbleitern

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826566790
3826566793
Dimensions
21 cm
Extent
II, 100 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1999

Keyword
Halbleiterdrucksensor
Drei-Fünf-Halbleiter
Druckabhängigkeit
Halbleiterdrucksensor
Drei-Fünf-Halbleiter
Miniaturisierung
Membranverfahren

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
1999
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:44 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 1999

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