Hochschulschrift
Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2007
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:105-7061542urn:nbn:de:swb:105-7061544
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:48 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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