Hochschulschrift
LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik : Bestimmung der elastischen Eigenschaften
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183183180
3183183188
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XII, 116 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994
- Erschienen in
-
Fortschritt-Berichte VDI / 18 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 183, Reihe 18
- Schlagwort
-
LPCVD-Verfahren
Silicium
Polykristall
Elastizitätsmodul
LPCVD-Verfahren
Silicium
Polykristall
Eigenspannung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsselorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1995
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:42 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Maier-Schneider, Dieter
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1995
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