Hochschulschrift
Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium : das System HF-HNO3-H2SO4/H2O
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
III, 173 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2014 (Nicht für den Austausch)
- Schlagwort
-
Industriechemikalie
Silicium
Silicium
Nassätzen
Flusssäure
Salpetersäure
Schwefelsäure
Silane
Wafer
Textur
Ätzen
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:07 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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