- Weitere Titel
-
Ion beam sputter deposition of metal oxides
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Gießen, Justus-Liebig-Universität, Dissertation, 2016
- Klassifikation
-
Physik
- Schlagwort
-
Ionenstrahl
Sputtern
Dünne Schicht
Ion
Target
Winkelverteilung
Ätzen
Ionenquelle
Material
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Gießen
- (wer)
-
Universitätsbibliothek
- (wann)
-
2016
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hebis:26-opus-122099
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Becker, Martin
- Universitätsbibliothek
Entstanden
- 2016
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