Hochschulschrift
Adhäsions- und Reibungsverhalten von Nano- und Mikropartikeln auf Siliziumwafern
- Weitere Titel
-
Adhesion- and friction behavior of nano and micro particles on silicon wafers
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, Dissertation, 2016
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
Physik
- Schlagwort
-
Reibung
Adhäsion
Mikropartikel
Reinigung
Teilchen
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Darmstadt
- (wer)
-
Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
- (wann)
-
2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Stark, Robert
Trautmann, Christina
- URN
-
urn:nbn:de:tuda-tuprints-53640
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:53 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schiwek, Simon
- Stark, Robert
- Trautmann, Christina
- Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
Entstanden
- 2016
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