Hochschulschrift

Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Halle (Saale), Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, Diss., 2013

Klassifikation
Physik
Schlagwort
Silicium
Rückstreuung
Kristallgitter
Verzerrung
Raumauflösung
Nanostruktur
Ionenstrahl
Beugungsfigur
Verzerrungstensor
Oberfläche
Beugung
Elektronenbeugung
Amorphisierung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Halle, Saale
(wer)
Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
(wann)
2013
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:gbv:3:4-12037
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:41 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2013

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