- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540667728
3540667725
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
XVI, 653 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben
- Schlagwort
-
Plasmaätzen
PECVD-Verfahren
Plasmatechnik
Plasmadiagnostik
Plasmaphysik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin, Heidelberg, New York, Barcelona, Hong Kong, London, Milan, Paris, Singapore, Tokyo
- (wer)
-
Springer
- (wann)
-
2000
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Shul, Randy J.
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:21 MESZ
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Beteiligte
- Shul, Randy J.
- Springer
Entstanden
- 2000
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