Hochschulschrift
Herstellung und Charakterisierung lokaler Silizium-auf-Isolator-Substrate
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898201094
3898201090
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XIII, 202 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Keyword
-
Halbleitersubstrat
SIMOX
Wafer
CMOS
Hochtemperaturelektronik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin
- (who)
-
Mensch-und-Buch-Verl.
- (when)
-
2000
- Creator
-
Bentum, Ralf van
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:59 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Bentum, Ralf van
- Mensch-und-Buch-Verl.
Time of origin
- 2000
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