Hochschulschrift
In-situ-Untersuchung des Wachstums von reaktiv gesputterten MoSx- und WSx-Schichten mit Hilfe der energiedispersiven Röntgenbeugung (EDXRD)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 200 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Berlin, Freie Univ., Diss., 2003 (Nicht für den Austausch)
- Schlagwort
-
Schichtgitterhalbleiter
Molybdänsulfide
Wolframsulfide
Schichtwachstum
Magnetronsputtern
Energiedispersive Röntgenbeugung
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:12 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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