- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
83 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
27 Ill. u. graph. Darst.
Literaturverz. S. 49 - 56.
- Bibliographic citation
-
Forschungsbericht ; T 77,27 : Elektronik
- Keyword
-
Aufdampfen
Silizium
Epitaxie
Aufdampfen
Silicium
Epitaxie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
München
- (who)
-
Zentralstelle für Luft- u. Raumfahrtdokumentation u. -information (ZLDI) d. Dt. Forschungs- u. Versuchsanst. für Luft- u. Raumfahrt
- (when)
-
1977
- Creator
-
Kasper, Erich
Herzog, Hans-Joest
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:55 PM CEST
Data provider
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Associated
- Kasper, Erich
- Herzog, Hans-Joest
- Deutschland. Bundesminister für Forschung und Technologie, Bundesrepublik
- Zentralstelle für Luft- u. Raumfahrtdokumentation u. -information (ZLDI) d. Dt. Forschungs- u. Versuchsanst. für Luft- u. Raumfahrt
Time of origin
- 1977
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