Hochschulschrift
Halbleiter- und Metall-Nanostrukturierung mittels selbstorganisierender Polymermasken
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783898257343
3898257347
- Dimensions
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21 cm, 239 gr.
- Extent
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II, 161 S.
- Edition
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Als Ms. gedr.
- Language
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Deutsch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 2003
- Classification
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
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Nanolithografie
Maske
Polymere
Selbstorganisation
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:54 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Haupt, Michael
- dissertation.de
Time of origin
- 2003