Hochschulschrift
Halbleiter- und Metall-Nanostrukturierung mittels selbstorganisierender Polymermasken
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898257343
3898257347
- Maße
-
21 cm, 239 gr.
- Umfang
-
II, 161 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 2003
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Nanolithografie
Maske
Polymere
Selbstorganisation
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:37 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Haupt, Michael
- dissertation.de
Entstanden
- 2003
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