- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
IV, 129 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
München, Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
-
Wolfram
Silicium
Mehrschichtsystem
Sputtern
Rauigkeit
Röntgenstreuung
Niob
Aluminiumoxide
Mehrschichtsystem
Sputtern
Rauigkeit
Röntgenstreuung
Silicium
Oberfläche
Metallschicht
Aufdampfschicht
Sputtern
Rauigkeit
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:13 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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