Hochschulschrift
Untersuchungen zum Einsatz des Reaktiven Ionen- und Ionenstrahlätzens zur Strukturierung in der Halbleitertechnologie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
VI, 142 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1991 (Nicht für den Austausch)
- Urheber
-
Beyer, Wolfram
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 13.01.2024, 14:39 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Beyer, Wolfram
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