Hochschulschrift

Silbermetallisierung für die Mikroelektronik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832207960
3832207961
Dimensions
21 cm
Extent
IV, 138 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2002

Bibliographic citation
Selected topics of electronics and micromechatronics ; Vol. 4

Keyword
Chip
Metallisieren
Silber
Sputtern
Elektromigration
Diffusionsbarriere

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2002
Creator
Hauder, Martin Alfons

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Last update
11.06.2025, 2:07 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Hauder, Martin Alfons
  • Shaker

Time of origin

  • 2002

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