Hochschulschrift
Anlagenentwicklung und experimentelle Untersuchungen zur Züchtung von CaF2-Kristallen für die Mikrolitographie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
168 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005
- Klassifikation
-
Chemie
- Schlagwort
-
Calciumfluorid
Kristallzüchtung
Fotolithografie
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:46 MESZ
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Objekttyp
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