- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Stuttgart, Universität Stuttgart, Diplomarbeit
- Identifier
-
1057871907
Thema
Eigenspannung ; Mehrschichtsystem ; Charakterisierung ; Finite-Elemente-Methode ; Dünnschichttechnik ; Silicium ; Thermische Oxidation
Beteiligte Personen und Organisationen
Hiltmann, Kai
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Hiltmann, Kai
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