- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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In: MEMS/MOEMS Components and Their Applications III, Proc. SPIE, 6113, S. 61130C-
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Münster
- (who)
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FH Münster - University of Applied Sciences
- (when)
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2013
- Creator
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Wittrock, Ulrich
Welp, Petra
- URN
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urn:nbn:de:hbz:836-opus-6537
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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25.03.2025, 1:48 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Wittrock, Ulrich
- Welp, Petra
- FH Münster - University of Applied Sciences
Time of origin
- 2013