- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832286576
- Dimensions
-
21 cm, 227 gr.
- Extent
-
146 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2009
- Bibliographic citation
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 9
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Kondensatormikrofon
MEMS
Technische Membran
Opferschicht
Siliciumdioxid
Herstellung
Kondensatormikrofon
MEMS
Technische Membran
Opferschicht
Silicium
Germanium
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:07 PM CET
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Teeffelen, Kathrin van
- Shaker
Time of origin
- 2009
Other Objects (12)
Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz
Selbstdiffusion in Silizium-Germanium-Legierungen
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Dünnschichtsolarzellen aus rekristallisiertem Silicium
Triplettzustände in Siloxen und porösem Silizium
Silizium basierende Einzel-Elektronen-Transistoren
Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung
Integrierte Pikosekunden-Zeitbereichsmeßtechnik auf Silizium
Aufbau piezoresistiver Niederdrucksensoren aus Silicium
Neue Membransensoren mit porösem Silizium
Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit
Silizium-Nanodots für nichtflüchtige Speicherbauelemente
Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz
Selbstdiffusion in Silizium-Germanium-Legierungen
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Dünnschichtsolarzellen aus rekristallisiertem Silicium
Triplettzustände in Siloxen und porösem Silizium
Silizium basierende Einzel-Elektronen-Transistoren
Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung
Integrierte Pikosekunden-Zeitbereichsmeßtechnik auf Silizium
Aufbau piezoresistiver Niederdrucksensoren aus Silicium
Neue Membransensoren mit porösem Silizium
Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit
Silizium-Nanodots für nichtflüchtige Speicherbauelemente
Entwicklung von Technologien zur Herstellung von piezoelektrisch angeregten, mikromechanischen Resonatorstrukturen in Silizium und Quarz
Selbstdiffusion in Silizium-Germanium-Legierungen
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Dünnschichtsolarzellen aus rekristallisiertem Silicium
Triplettzustände in Siloxen und porösem Silizium
Silizium basierende Einzel-Elektronen-Transistoren
Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung
Integrierte Pikosekunden-Zeitbereichsmeßtechnik auf Silizium
Aufbau piezoresistiver Niederdrucksensoren aus Silicium
Neue Membransensoren mit porösem Silizium
Elektronenstrahlkristallisierte Silizium-Dünnschichtsolarzellen auf Graphit