Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur thermischen Atomlagenabscheidung von Ruthenium mit in-situ Messtechnik
- Alternative title
-
Development and characterisation for a thermal activated atomic layer deposition process of ruthenium via in-situ measurement techniques
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Diplomarbeit, 2011
- Classification
-
Physik
- Keyword
-
Ruthenium
Atomlagenabscheidung
Röntgen-Photoelektronenspektroskopie
Rutheniumdioxid
Ellipsometrie
Puls
Röntgenstrahlung
Photoelektronenspektrum
Massenspektrometrie
Quadrupol
Messtechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden, Dresden
- (who)
-
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
- (when)
-
2011
- Creator
- Contributor
-
Knaut, Martin
Bartha, Johann Wolfgang
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-65342
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:48 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Junige, Marcel
- Knaut, Martin
- Bartha, Johann Wolfgang
- Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
Time of origin
- 2011
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